上海科技-软件产品

1. 高效功能整合SECS/GEM控件产品FabConnect；高速稳定的SECS驱动，支持E84/E5/E30/E37,并且支持E87/E40/E94/E90等标准。

2. 通用设备实时控制软件系统架构MY Equipment Control Framework (MECF)2.0；适用于Linear，Cluster，Single模式的设备控制。

MECF 2.0 软件整体控制架构

基于有限状态机的实时控制系统，FSM based real time control system

成熟的，验证过的核心架构MECF 2.0(My Equipment Control Framework)，Proven technology

符合半导体行业标准，支持E84/E5/E30/E37,支持E87/E40/E94等 Semi Standard

模块化设计，可扩展，易维护，Module based

MECF 2.0 主要模块介绍 - Scheduler

MECF支持Linear，Cluster以及单腔体的设备。

MECF 2.0 主要模块介绍 – PP Editor

针对不同种类的PM(Process Module)可配置不同的Recipe Template。

柔性化的Sequence/Recipe编辑页面，并对Recipe的修改以及版本进行管控。

MECF 2.0 主要模块介绍 – 数据采集以及分析模块

对于不同的PM，采用配置方案采集数据。

强大的图形化数据分析工具帮助工艺工程师调整工艺。

数据库能保存长时间的工艺运行历史数据。

MECF 2.0 主要模块介绍 – 完备的硬件驱动

内嵌驱动支持TDK Load Port，SMIF。

内嵌驱动支持Hirata Load Port，SMIF。

内嵌驱动支持RORZE Load port，EFEM。

内嵌驱动支持Yaskawa Robot，MP3000，EFEM。

内嵌驱动支持Brooks Robot, 以及各种Framework。

内嵌驱动支持各种品牌PLC，以及硬件卡。

MECF 2.0 主要模块介绍 – SECS/GEM FabConnect

高效稳定的SECS驱动。

支持E5/E30/E37，封装好E87/E94/E40等 。

快速打通Fab Host连机。